Pinnoitus ja viimeistely
ALD atomikerroskasvatus
ALD (Atomic Layer Deposition) eli atomikerroskasvatus kuuluu kaasufaasipinnoitusmenetelmiin kuten CVD-pinnoitus (Chemical Vapour Deposition). ALD- menetelmällä pinnoitetaan tuote vakuumissa, johon syötetään erilaisia kaasuvirtauksia ja pinnoite muodostuu kemiallisten reaktioiden avulla. ALD muodostaa ohuita ja tiiviitä kalvoja alle 1 nanometristä useisiin mikrometreihin. Jatkokehitelmiä on mm. MLD-pinnoitus (Molecular Layer Deposition), terminen ALD, plasma ALD (PEALD) ja katalyyttinen ALD.